在使用涂層厚度計(jì)時(shí),有時(shí)測(cè)量結(jié)果會(huì)感到偏差,或測(cè)量校正樣品的厚度不同,什么原因影響涂層測(cè)厚儀精度?
基體金屬磁性:磁涂層厚度計(jì)受基體金屬磁性變化(低碳鋼磁性變化可忽略不計(jì))的影響。同時(shí),儀器應(yīng)校準(zhǔn)與試件基體金屬性質(zhì)相同的標(biāo)準(zhǔn)片,或涂層試件應(yīng)校準(zhǔn),以避免熱處理和冷處理因素的影響。
基金屬的電性:渦流測(cè)厚儀受基金屬電導(dǎo)率的影響,基金屬的電導(dǎo)率與其材料成分和熱處理方法有關(guān)。解決方案是使用與測(cè)試基金性質(zhì)相同的標(biāo)準(zhǔn)板來(lái)校準(zhǔn)儀器(這與第一點(diǎn)相同,并解釋如何校準(zhǔn)涂層厚度計(jì))。
基金屬厚度:每臺(tái)儀器都有一個(gè)基金屬的臨界厚度。只要大于此厚度,測(cè)量就不會(huì)受到基金屬厚度的影響。此外,由于每臺(tái)儀器在測(cè)量時(shí)都有涂層的最小厚度值,因此除此值以外的涂層厚度無(wú)法測(cè)量。
邊緣測(cè)量效果:涂層測(cè)厚儀對(duì)試件表面形狀的陡變敏感。因此,不能靠近試件的邊緣或內(nèi)角進(jìn)行測(cè)量,否則測(cè)量值會(huì)有較大的偏差。
試件曲率:試件曲率對(duì)測(cè)量有很大影響。隨著曲率半徑的降低,這種影響顯著增加,即平面上的測(cè)量比平面上的測(cè)量更準(zhǔn)確(很容易理解為最大曲面上的平面想象)。因此,在彎曲度較大的樣品表面測(cè)量涂層厚度是不準(zhǔn)確的。同樣,當(dāng)樣品不同程度地變形時(shí),也會(huì)導(dǎo)致測(cè)量偏差。
試件表面粗糙度:基體金屬和覆蓋層表面粗糙度對(duì)測(cè)量有影響。粗糙度增加,測(cè)量效果增加。粗糙的表面會(huì)導(dǎo)致系統(tǒng)誤差和意外誤差。每次測(cè)量時(shí),應(yīng)增加不同位置的測(cè)量次數(shù),以克服這一意外錯(cuò)誤。如果基金屬粗糙,則必須將儀器的零點(diǎn)校對(duì)到基金屬試件上的幾個(gè)位置,而不是涂層的粗糙度相似;或者在使用對(duì)基金屬無(wú)腐蝕性溶液去除覆蓋層后,重新校準(zhǔn)儀器的零點(diǎn)。簡(jiǎn)單理解:如果試件的粗糙度較高,則相當(dāng)于峰谷。測(cè)量峰值上的涂層厚度將小于實(shí)際涂層厚度,峰值谷上的涂層厚度將大于實(shí)際涂層厚度。此外,對(duì)于涂層的粗糙度,由于儀器測(cè)量頭需要與涂層測(cè)量緊密配合,涂層的峰谷測(cè)量會(huì)影響電導(dǎo)體上的磁阻值和渦流值反饋值。
環(huán)境磁場(chǎng):測(cè)量環(huán)境周圍存在各種電氣設(shè)備產(chǎn)生的強(qiáng)磁場(chǎng),嚴(yán)重干擾磁性法測(cè)厚儀。當(dāng)周圍存在不同程度的高頻電磁波時(shí),渦流法測(cè)厚儀也會(huì)受到影響。
確保儀器測(cè)頭與被測(cè)件表面直接接觸,去除附著在試件表面的物質(zhì)。
測(cè)量頭壓力:測(cè)量頭放置在試件上的壓力尺寸會(huì)影響測(cè)量讀數(shù)。因此,應(yīng)保持恒壓。在實(shí)際測(cè)量過(guò)程中,我們需要用一些力將測(cè)量頭壓在試件表面,而不是太大或太小。
測(cè)量頭的方向:在測(cè)量過(guò)程中,應(yīng)保持測(cè)量頭垂直于樣品表面,以獲得最準(zhǔn)確的值。如果測(cè)量頭偏離,則得到更大的值。
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